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■クリーンルーム対応

■真空蒸着装置

Φ1300 4台
Φ1300IAD 4台
Φ1300プラズマガン 1台
Φ1200 3台
Φ1200IAD 3台
ΦRAS type-c(スパッタリング) 2台
Φ1100インライン 2台
Φ1100インラインIAD 4台
Φ900 5台
Φ900IAD 1台
Φ900RF 2台
Φ800(金属膜専用機) 1台
Φ600(金属膜専用機) 1台

■測定器

日立製 分光器 U-4100 3台
オリンパス製 分光器 USPM-RUⅡ 3台
日本分光 V-570 (分光及び位相差測定) 2台
フジノン製 干渉計 G102 1台
フジノン製 干渉計 FIX25N 1台
日本電色工業 ヘーズメータ NDH500 1台

■環境検査機

高温試験機(ESPEC製) 4台
低温試験機(ESPEC製) 1台
ヒートショック試験機(ESPEC製) 1台
恒温高湿試験機(ESPEC製) 1台

■洗浄装置

洗浄装置(16槽) 4台
超純水洗浄装置(10槽) 1台

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