Facilities設備紹介
蒸着室
蒸着室
蒸着室
洗浄ライン
洗浄ライン
セット室
顕微鏡検査
検査
分光測定
分光測定
エアーシャワー
匕ートショック試験機
■クリーンルーム対応
■真空蒸着装置
Φ1300 |
4台 |
Φ1300IAD |
4台 |
Φ1300プラズマガン |
1台 |
Φ1200 |
3台 |
Φ1200IAD |
3台 |
ΦRAS type-c(スパッタリング) |
2台 |
Φ1100インライン |
2台 |
Φ1100インラインIAD |
4台 |
Φ900 |
5台 |
Φ900IAD |
1台 |
Φ900RF |
2台 |
Φ800(金属膜専用機) |
1台 |
Φ600(金属膜専用機) |
1台 |
■測定器
日立製 分光器 U-4100 |
3台 |
オリンパス製 分光器 USPM-RUⅡ |
3台 |
日本分光 V-570 (分光及び位相差測定) |
2台 |
フジノン製 干渉計 G102 |
1台 |
フジノン製 干渉計 FIX25N |
1台 |
日本電色工業 ヘーズメータ NDH500 |
1台 |
■環境検査機
高温試験機(ESPEC製) |
4台 |
低温試験機(ESPEC製) |
1台 |
ヒートショック試験機(ESPEC製) |
1台 |
恒温高湿試験機(ESPEC製) |
1台 |
■洗浄装置
洗浄装置(16槽) |
4台 |
超純水洗浄装置(10槽) |
1台 |