Facilities設備紹介
蒸着室
蒸着室
蒸着室
洗浄ライン
洗浄ライン
セット室
顕微鏡検査
検査
分光測定
分光測定
エアーシャワー
匕ートショック試験機
■クリーンルーム対応
■真空蒸着装置
| Φ1300 | 4台 |
|---|---|
| Φ1300ＩＡＤ | 4台 |
| Φ1300プラズマガン | 1台 |
| Φ1200 | 3台 |
| Φ1200ＩＡＤ | 3台 |
| ΦＲＡＳ type-c（スパッタリング） | 2台 |
| Φ1100インライン | 2台 |
| Φ1100インラインＩＡＤ | 4台 |
| Φ900 | 5台 |
| Φ900ＩＡＤ | 1台 |
| Φ900ＲＦ | 2台 |
| Φ800（金属膜専用機） | 1台 |
| Φ600（金属膜専用機） | 1台 |
■測定器
| 日立製 分光器 Ｕ-4100 | 3台 |
|---|---|
| オリンパス製 分光器 ＵＳＰＭ-ＲＵⅡ | 3台 |
| 日本分光 Ｖ-570 （分光及び位相差測定） | 2台 |
| フジノン製 干渉計 Ｇ102 | 1台 |
| フジノン製 干渉計 ＦＩＸ25Ｎ | 1台 |
| 日本電色工業 ヘーズメータ NDH500 | 1台 |
■環境検査機
| 高温試験機（ＥＳＰＥＣ製） | 4台 |
|---|---|
| 低温試験機（ＥＳＰＥＣ製） | 1台 |
| ヒートショック試験機（ＥＳＰＥＣ製） | 1台 |
| 恒温高湿試験機（ＥＳＰＥＣ製） | 1台 |
■洗浄装置
| 洗浄装置（16槽） | 4台 |
|---|---|
| 超純水洗浄装置（10槽） | 1台 |