設備/製品・技術

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製造・加工・評価設備

真空蒸着装置 Φ1300 ・・・・・・・・・・ 4台
Φ1300IAD ・・・・・・・・・・ 4台
Φ1300プラズマガン ・・・・・・・・・・ 1台
Φ1200 ・・・・・・・・・・ 3台
Φ1200IAD ・・・・・・・・・・ 3台
ΦRAS type-c(スパッタリング) ・・・・・・・・・・ 2台
Φ1100インライン ・・・・・・・・・・ 2台
Φ1100インラインIAD ・・・・・・・・・・ 4台
Φ900 ・・・・・・・・・・ 5台
Φ900IAD ・・・・・・・・・・ 1台
Φ900RF ・・・・・・・・・・ 2台
Φ800(金属膜専用機) ・・・・・・・・・・ 1台
Φ600(金属膜専用機) ・・・・・・・・・・ 1台
測定器 日立製 分光器 U-4100 ・・・・・・・・・・ 3台
オリンパス製 分光器 USPM-RUⅡ ・・・・・・・・・・ 3台
日本分光 V-570 (分光及び位相差測定) ・・・・・・・・・・ 2台
フジノン製 干渉計 G102 ・・・・・・・・・・ 1台
フジノン製 干渉計 FIX25N ・・・・・・・・・・ 1台
日本電色工業 ヘーズメータ NDH5000 ・・・・・・・・・・ 1台
環境試験機 高温試験機(ESPEC製) ・・・・・・・・・・ 4台
低温試験機(ESPEC製) ・・・・・・・・・・ 1台
ヒートショック試験機(ESPEC製) ・・・・・・・・・・ 1台
恒温高湿試験機(ESPEC製) ・・・・・・・・・・ 1台
洗浄装置 洗浄装置(16槽) ・・・・・・・・・・ 4台
超純水洗浄装置(10槽) ・・・・・・・・・・ 1台

作業工程

エアシャワー
ヒートショック試験機
蒸着室
洗浄ライン
洗浄ライン
セット室
顕微鏡検査
検査
分光測定
分光測定
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